在半導(dǎo)體制造過程中，晶圓切片是至關(guān)重要的一步，它涉及到使用高純度的水和化學(xué)試劑來切割硅晶圓。這一過程產(chǎn)生的廢水含有大量的懸浮顆粒、金屬離子和有機(jī)污染物，直接排放會對環(huán)境造成嚴(yán)重污染。因此，開發(fā)高效且經(jīng)濟(jì)的晶圓切片廢水處理與回用技術(shù)對于減少環(huán)境污染和節(jié)約水資源至關(guān)重要。

1. 預(yù)處理階段

預(yù)處理的目標(biāo)是去除廢水中的大顆粒物質(zhì)和其他機(jī)械雜質(zhì)。常用的方法包括格柵過濾和沉淀。通過這些步驟可以有效減少后續(xù)處理單元的負(fù)荷，并防止設(shè)備堵塞。此外，在某些情況下，可能還需要進(jìn)行初步的pH調(diào)整以適應(yīng)后續(xù)處理的要求。

2. 化學(xué)沉淀與絮凝

為了去除廢水中的重金屬離子，通常采用化學(xué)沉淀法。這一步驟涉及添加特定的化學(xué)藥劑（如氫氧化鈉或硫化鈉）使重金屬形成不溶性的化合物沉淀下來。接著通過加入絮凝劑（如聚合氯化鋁或聚丙烯酰胺），可以促進(jìn)小顆粒聚集成為較大的絮體，便于后續(xù)的固液分離操作。

3. 膜分離技術(shù)

膜分離技術(shù)是晶圓切片廢水處理中極為重要的一環(huán)，主要包括超濾（UF）、納濾（NF）和反滲透（RO）。超濾主要用于去除廢水中的膠體和大分子有機(jī)物；納濾則進(jìn)一步去除小分子有機(jī)物和部分二價鹽；而反滲透能夠有效地去除幾乎所有的溶解性固體和離子，確保出水達(dá)到非常高的純凈度標(biāo)準(zhǔn)，適用于再利用于生產(chǎn)過程。

4. 離子交換與吸附

在經(jīng)過膜分離后，為進(jìn)一步提高水質(zhì)，可以采用離子交換樹脂去除剩余的微量金屬離子和其他有害物質(zhì)。活性炭吸附也是一種有效的手段，尤其適合去除難以降解的有機(jī)污染物。

5. 回用與監(jiān)測

處理后的水需要經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測，確保其符合回用標(biāo)準(zhǔn)。合格的回用水可用于晶圓清洗、冷卻系統(tǒng)補(bǔ)水或其他非關(guān)鍵生產(chǎn)工藝環(huán)節(jié)，從而實(shí)現(xiàn)水資源的有效循環(huán)利用。同時，建立實(shí)時監(jiān)控系統(tǒng)對于維持長期穩(wěn)定運(yùn)行至關(guān)重要，它可以及時發(fā)現(xiàn)并解決潛在問題，保證水質(zhì)安全。

晶圓切片廢水處理與回用不僅有助于保護(hù)環(huán)境，還能顯著降低企業(yè)的運(yùn)營成本。隨著技術(shù)的進(jìn)步，未來的研究應(yīng)致力于開發(fā)更加高效、低成本的處理方法，以及探索新型材料和技術(shù)的應(yīng)用，以滿足日益嚴(yán)格的環(huán)保要求和行業(yè)需求。

蘇州依斯倍環(huán)保裝備科技有限公司是一家來自荷蘭外商投資的環(huán)保企業(yè)，于2011年在蘇州工業(yè)園區(qū)正式成立，致力于為工業(yè)廢水處理提供完整的循環(huán)利用及零排放解決方案，業(yè)務(wù)板塊涵蓋EPC工程、提標(biāo)改造、污水站運(yùn)維等。

2021年3月，依斯倍申報的依斯倍化學(xué)品加藥系統(tǒng)T1950032在2020年蘇州市工業(yè)設(shè)計產(chǎn)品優(yōu)秀獎評選中，憑借突出的產(chǎn)品創(chuàng)新、設(shè)計、研發(fā)能力，榮獲蘇州市工業(yè)設(shè)計產(chǎn)品優(yōu)秀獎，同時榮獲工業(yè)廢水處理領(lǐng)域“領(lǐng)軍企業(yè)”稱號，依斯倍多個廢水零排放示范項目案例成功入選《蘇州工業(yè)園區(qū)低碳優(yōu)秀案例匯編》，同時依斯倍環(huán)保還參與了國家《電子行業(yè)廢水廢液深度處理及資源化關(guān)鍵技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)》的編制。11月依斯倍廢水處理循環(huán)利用技術(shù)有機(jī)管式超濾膜設(shè)備被國家工信部納入《國家鼓勵的工業(yè)節(jié)水工藝、技術(shù)和裝備目錄（2023年）》。2024年被蘇州工信局認(rèn)定為年度蘇州工業(yè)設(shè)計中心，2月榮獲蘇州工業(yè)園區(qū)年度經(jīng)濟(jì)貢獻(xiàn)突出獎。2025年依斯倍高鹽廢水資源化利用裝備（有機(jī)管式超濾膜）成功入選江蘇省節(jié)水設(shè)備（產(chǎn)品）和技術(shù)目錄。