集成電路（IC）產業是現代電子工業核心，當前規模持續擴張。但在晶圓制造、封裝測試等生產環節中，會產生成分復雜、污染物濃度高的工業廢水。本文將介紹一家專注集成電路廢水處理的環保公司——蘇州依斯倍環保裝備科技有限公司，看他家是怎么處理這類廢水的。

蘇州依斯倍環保裝備科技有限公司是一家來自荷蘭外商投資的環保企業，于2011年在蘇州工業園區正式成立，致力于為集成電路廢水處理提供完整的循環利用及零排放解決方案，業務板塊涵蓋EPC系統交付、提標改造、廢水站運維托管等。依斯倍一直專注于工業廢水循環利用及零排放處理技術的研發，為客戶降低成本，努力構建綠色生態循環系統，以“減量化”、“資源化”和“極小化”的“3R”原則為循環系統實施的核心。依斯倍工業廢水循環利用及零排放處理系統已廣泛應用于新能源汽車、機器人制造、航天航空、表面處理電鍍、涂裝生產線、電子半導體等行業。

一、集成電路廢水的來源與特點

集成電路生產涵蓋硅片制備、光刻、刻蝕、離子注入等多道工序，因使用高純化學品和超純水清洗，產生多種廢水：含氟廢水、含重金屬廢水、有機廢水、含磷廢水、含氨氮廢水。

這類廢水特點顯著：成分復雜、污染物種類多；水質水量受生產工藝影響，波動大；氟化物、重金屬等污染物毒性高、難降解；對出水水質要求嚴苛，部分需達到回用標準。

二、集成電路廢水處理的主要工藝技術

處理遵循“分類收集、分質處理、綜合回用”原則，結合多類技術：

1. 分質預處理：含氟廢水用化學沉淀法，投加石灰生成氟化鈣沉淀；含重金屬廢水通過調pH或用硫化物沉淀等方法處理；有機廢水采用Fenton氧化、生物處理等降解；酸堿廢水經中和反應調至中性。

2. 綜合處理：預處理后廢水先經混凝沉淀去懸浮物，再用A/O、MBR等工藝生化處理，最后通過高級氧化、反滲透等深度處理凈化。

3. 污泥處理：產生的危險污泥經濃縮、脫水、穩定化/固化后，由資質單位處置。

三、廢水回用與資源化

為應對資源與環保壓力，企業推行“零排放”或“近零排放”，廢水回用率超70%，可用于冷卻補水、綠化沖洗，深度處理后還能作為超純水原水。部分企業還從廢水中回收金、銀、銅等金屬，實現資源循環。

集成電路產業高質量發展需環境友好支撐，高效廢水處理是企業履責、保障產業鏈安全的基礎。隨著法規趨嚴與技術進步，集成電路廢水處理將更智能、綠色、可持續，為“中國芯”崛起保駕護航。